利用三維有限時域差分法(3D Finite Difference Time Domain Method),求解 Maxwell's equation,並模擬奈米結構下之數值電磁行為

計畫名稱:利用三維有限時域差分法(3D Finite Difference Time Domain Method),求解 Maxwell's equation,並模擬奈米結構下之數值電磁行為

所屬單位:工科系

研究團隊:奈米光電數值模擬實驗室

計畫主持人:李佳翰

研究人員:李彥旻

資源需求:mpif90, intel fortran, MPICH 1.2

使用期間:2006/03~

研究主題:
利用三維有限時域差分法(3D Finite Difference Time Domain Method),求解 Maxwell's equation,並模擬奈米結構下之數值電磁行為

研究內容概述:
1探討可重建近場光強度分佈並可達到高解析度影像之特殊結構的金屬/介電質奈米元件以應用於奈米微影。我們將利用開發的數值模擬軟體模擬包含超級透鏡結構等等的金屬/介電質奈米結構,並對其物理機制做探討。利用數值模擬分析,設計數個具有特定光強度分佈的近場光增益的金屬/介電質奈米結構,並對其作最佳化結構分析,這些設計將會利用半導體設備技術製造、量測並與物理模型和數值模擬結果作比較。基於這樣的金屬/介電質奈米結構設計,我們將設計一個具有次繞射極限解析度下的近場光增益奈 米微影實驗設計之原型,並利用其來製作數個應用於奈米光子、奈米電子或生物偵測應用上之功能性奈米元件。這個研究不僅可以提供一個低成本、高解析度的奈米微影方法,同時也將對於奈米影像、奈米感測及奈米資料儲存有著極大的影響。

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