散射儀嚴格耦合波模擬計算

計畫名稱:散射儀嚴格耦合波模擬計算

所屬單位:光電所

研究團隊:光子與奈米結構研究室

計畫主持人:王倫

研究人員:饒智昇

資源需求:matlab, C, C++

使用期間:2006/05~

研究主題:
1.散射儀嚴格耦合波模擬計算 2.先進光學微影模擬計算 3.奈米光波導元件耦合模擬計算 4.微光學元件最佳化模擬計算 5.時域有限差分法模擬計算

研究內容概述:
本團隊目前目標是以滾輪壓印的方式在基板上製作次波長微奈米結構做為抗反射應用。結構的設計將以嚴格耦合波理論(rigorous couple wave analysis, RCWA)為基礎自行開發軟體來進行,再與實驗量測結果做比較驗證,藉由改變入射光之波長與角度可以得到一入射光波長與角度為基底的反射光強度特徵圖譜!並且預先依據待測物的材料參數及量測的範圍與精度,使用嚴格耦合波理論對各種不同結構建立起模型資料庫,再將量測圖譜與資料庫內預建立的圖譜比對,由此可以反推待測物的結構。散射儀的量測精度有一部分是取決於資料比對的演算法,所以須進行演算法最佳化計算。此外,由於參數相關性的問題直接影響了多參數檢測系統的量測效能,本計畫提出利用適當的數值演算法計算出各參數間彼此在不同量測訊號區域之相關性的權重值,來改變量測訊號的取樣密度,而非以傳統之等量密度方式進行。本研究初期將針對目前散射儀應用於奈米轉印量測的關鍵尺寸,量測側壁角度與高度三個參數,進行參數彼此間相關性的研究,並且將圖譜資料建置於SQL資料庫內,以降低資料搜尋時間,由於資料庫建置,需要大量計算時間,故急需高速電腦的配合運用。

詳細計畫內容 回到上一頁